H2MEMS Project: Resonant MEMS for detection of hydrogen release in radioactive waste disposal facility - Service Instrumentation Conception Caractérisation Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2022

H2MEMS Project: Resonant MEMS for detection of hydrogen release in radioactive waste disposal facility

Isabelle Dufour
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
Luis Iglesias Hernandez
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
Priyadarshini Shanmugam
  • Fonction : Auteur
GREMAN (matériaux, microélectronique, acoustique et nanotechnologies)
Jean-François Michaud
  • Fonction : Auteur
GREMAN (matériaux, microélectronique, acoustique et nanotechnologies)
Laurent Colin
  • Fonction : Auteur
GREMAN (matériaux, microélectronique, acoustique et nanotechnologies)
Daniel Alquier
  • Fonction : Auteur
GREMAN (matériaux, microélectronique, acoustique et nanotechnologies)
Dominique Certon
  • Fonction : Auteur
GREMAN (matériaux, microélectronique, acoustique et nanotechnologies)
Maria Dolores Manrique-Juarez
Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
CV
Thierry Leichle
Équipe Microsystèmes électromécaniques
Fabrice Mathieu
Service Instrumentation Conception Caractérisation
CV
Laurent Mazenq
Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
Liviu Nicu
Équipe Microsystèmes électromécaniques
Luan Nguyen
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 874713
Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications
Sebastien Chenot
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1103218
Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications
Marc Portail
Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications
Johan Bertrand
  • Fonction : Auteur
Agence Nationale pour la Gestion des Déchets Radioactifs

Résumé

The H2MEMS project aims at developing and optimizing hydrogen sensors based on resonant MEMS for detection of hydrogen release in radioactive waste disposal facility. The principle adopted is based on measuring physical properties of the gas (mass density, viscosity, sound velocity and sound absorption) without requiring any sensitive layer. For this purpose, resonant microcantilevers and CMUT were used.

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique
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Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Isabelle Dufour  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-03778623

Soumis le : vendredi 16 septembre 2022-08:38:11

Dernière modification le : vendredi 1 mars 2024-18:20:03

Archivage à long terme le : samedi 17 décembre 2022-18:11:49

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Dates et versions

hal-03778623 , version 1 (16-09-2022)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03778623 , version 1

Citer

Isabelle Dufour, Luis Iglesias Hernandez, Priyadarshini Shanmugam, Jean-François Michaud, Laurent Colin, et al.. H2MEMS Project: Resonant MEMS for detection of hydrogen release in radioactive waste disposal facility. Joint Conference of the European Frequency and Time Forum and IEEE International Frequency Control Symposium (EFTF / IFCS 2022), Apr 2022, Paris, France. ⟨hal-03778623⟩

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