Vincent Ventalon 1
Author
Aliki Tsopela 1
Author
Adrian Laborde 2
Author
Ludovic Salvagnac 2
Author Employer institution : Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique IdHAL : ludovic-salvagnac
Eléna Bedel-Pereira 3
Author Employer institution : Équipe Matériaux et Procédés pour la Nanoélectronique IdHAL : bedel-pereira-elena
Véronique Bardinal 1
Author Employer institution : Équipe MICrosystèmes d'Analyse IdHAL : veronique-bardinal ORCID : https://orcid.org/0000-0001-9242-4457
Pierre Temple-Boyer 1
Author Employer institution : Équipe MICrosystèmes d'Analyse IdHAL : pierre-temple-boyer
Jérôme Launay 1
Author