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Conference papers

Etude des défauts induits par recuit laser excimer sur silicium

Résumé : Le recuit par laser (LTA) est une technique bien adaptée pour la réalisation de jonctions ultra minces et ultra dopées. En effet, ce type de recuit est très prometteur car il permet une très forte activation des dopants de manière localisée (en surface et en profondeur) et une distribution uniforme des dopants.
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https://hal.laas.fr/hal-01690886
Contributor : Richard Monflier <>
Submitted on : Tuesday, January 23, 2018 - 3:06:16 PM
Last modification on : Thursday, June 10, 2021 - 3:01:28 AM

Identifiers

  • HAL Id : hal-01690886, version 1

Citation

Richard Monflier, Amin Benyoucef, Mégane Turpin, Fuccio Cristiano, Eléna Bedel-Pereira. Etude des défauts induits par recuit laser excimer sur silicium. 20èmes Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-nanoélectronique (JNRDM 2017), Nov 2017, Strasbourg, France. 1p. ⟨hal-01690886⟩

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