Protocole d'utilisation de l'implanteur ionique IMC 200 du LAAS-CNRS - LAAS - Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes Accéder directement au contenu
Rapport Technique Année : 2018

Protocole d'utilisation de l'implanteur ionique IMC 200 du LAAS-CNRS

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics] Micro et nanotechnologies/Microélectronique
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Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

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https://laas.hal.science/hal-01704554

Soumis le : jeudi 8 février 2018-15:18:18

Dernière modification le : lundi 20 novembre 2023-11:44:22

Archivage à long terme le : vendredi 4 mai 2018-08:55:19

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Dates et versions

hal-01704554 , version 1 (08-02-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01704554 , version 1

Citer

Éric Imbernon, Jean-Christophe Marrot. Protocole d'utilisation de l'implanteur ionique IMC 200 du LAAS-CNRS. Rapport LAAS n° 18032. 2018, 23p. ⟨hal-01704554⟩

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