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Conference papers

Réalisation de guides d’onde enterrés avec un procédé quasi-planaire

Résumé : Ce papier présente la première démonstration d'un procédé quasi-planaire de fabrication de structures de guides d'onde optiques enterrés dans des semiconducteurs III-V. L'approche repose sur l'utilisation d'une oxydation latérale de large étendue à partir d'une distribution discrète de trous et correspond à une évolution avantageuse du procédé conventionnel mettant en jeu une oxydation à partir de mesas dont les flancs sont continus.
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https://hal.laas.fr/hal-01768308
Contributor : Stéphane Calvez <>
Submitted on : Tuesday, April 17, 2018 - 10:28:59 AM
Last modification on : Friday, January 10, 2020 - 9:10:14 PM

File

Calvez_JNOG2016_guides_PAlOx.p...
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Identifiers

  • HAL Id : hal-01768308, version 1

Citation

Stéphane Calvez, Alexandre Arnoult, Pierre-François Calmon, Aurélie Lecestre, Chantal Fontaine, et al.. Réalisation de guides d’onde enterrés avec un procédé quasi-planaire. Journées Nationales de l'Optique Guidée (JNOG), Jul 2016, Bordeaux, France. 3p. ⟨hal-01768308⟩

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