). J. Pons, ;. Zupan, M. F. Ashby, and N. A. Fleck, Emerging Actuator Technologies: a Micromechatronic Approach, Adv. Eng. Mater, vol.4, p.933, 2002.

J. D. Madden, N. A. Vandesteeg, P. A. Anquetil, P. G. Madden, A. Takshi et al., , vol.29, p.706, 2004.

, Trends Biotechnol, vol.318, p.287, 1094.

, Applications of Electroactive Polymer Actuators, 2009.

). F. Carpi, R. Kornbluh, P. Sommer-larsen, and G. Alici, , 2011.

, MEMS/NEMS Handbook, Techniques and Applications, 2006.

). S. Mirvakili and I. W. Hunter, Adv. Mater, 2018.

). L. Hines, K. Petersen, G. Z. Lum, and M. Sitti, Adv. Mater, vol.29, p.5015, 2014.

H. J. Shepherd, I. A. Gural'skiy, C. M. Quintero, S. Tricard, L. Salmon et al., Nat. Commun, 2013.

M. D. Manrique-juárez, S. Rat, L. Salmon, G. Molnár, C. M. Quintero et al., Coord. Chem. Rev, vol.308, 2016.

). W. Browne, B. L. Feringa-;-b)-a.-coskun, M. Banaszak, R. D. Astumian, J. F. Stoddart et al., Nat. Nanotechnol, vol.41, p.964, 2006.

J. M. Abendroth, O. S. Bushuyev, P. S. Weiss, and C. J. Barrett, ACS Nano, vol.9, p.1261689, 2015.

M. Morimoto, M. Irie, J. Am, ). H. Koshima, N. Ojima et al., J. Am. Chem. Soc, vol.132, p.349, 1970.

). H. Finkelmann, E. Nishikawa, G. G. Pereira, M. Warner, ;. H. Yu et al., 23, 2149; d), Angew. Chem., Int. Ed, vol.87, p.10290, 2001.

T. J. Huang, B. Brough, C. Ho, Y. Liu, A. H. Flood et al., Appl. Phys. Lett, vol.85, p.17054, 2004.

M. D. Manrique-juarez, S. Rat, F. Mathieu, D. Saya, I. Séguy et al., Appl. Phys. Lett, vol.109, p.8186, 2016.

C. Guirotto, B. P. Rand, J. Genoe, and P. Heremans, Sol. Energy Mater. Sol. Cells, vol.93, p.454, 2009.

A. Grosjean, P. Négrier, P. Bordet, C. Etrillard, D. Mondieig et al., Eur. J. Inorg. Chem, p.796, 2013.

J. Kröber, E. Codjovi, O. Kahn, F. Groliere, and C. Jay, J. Am. Chem. Soc, vol.115, p.9810, 1993.

R. Feng and R. J. Farris, J. Micromech. Microeng, vol.13, p.80, 2002.

V. Q. Nguyen, A. S. Ahmed, and R. V. Ramanujan, Adv. Mater, vol.24, p.4041, 2012.

). Y. Raza, F. Volatron, S. Moldovan, O. Ersen, V. Huc et al., 47, 11501; b), J. Mater. Chem. C, vol.1, p.20451, 1933.

J. Ducarne, O. Thomas, and J. Deü, J. Sound Vib, vol.331, p.3286, 2012.

S. Timoshenko, J. Opt. Soc. Am, vol.11, p.233, 1925.

B. Kim, M. A. Hopcroft, R. N. Candler, C. M. Jha, M. Agarwal et al., J. Microelectromech. Syst, vol.17, p.755, 2008.

, MicroChem SU-8 3000 Data Sheet, 2018.

S. M. Mirvakili and I. W. Hunter, Adv. Mater, vol.29, p.1604734, 2017.

T. N. Nguyen, K. Rohtlaid, C. Plesse, G. T. Nguyen, C. Soyer et al., Electrochim. Acta, vol.265, p.670, 2018.

K. Mukai, K. Asaka, K. Kiyohara, T. Sugino, I. Takeuchi et al., Electrochim. Acta, vol.53, p.5555, 2008.

G. Alici, V. Devaud, P. Renaud, and G. Spinks, J. Micromech. Microeng, vol.19, p.25017, 2009.

Y. Jin, S. I. Paris, and J. J. Rack, Adv. Mater, vol.23, p.4312, 2011.

E. Merced, X. Tan, and N. Sepulveda, Sens. Actuators, A, p.30, 0196.

P. Krulevitch, A. P. Lee, P. B. Ramsey, J. C. Trevino, J. Hamilton et al., J. Micromech. Syst, vol.5, p.270, 1996.

W. M. Wood, J. Exp. Bot, 1953.

D. Stuart-fox and A. Moussalli, Philos. Trans. R. Soc, p.463, 2009.

I. A. Anderson, T. A. Gisby, T. G. Mckay, B. M. O'brien, and E. P. Calius, J. Appl. Phys, vol.112, p.41101, 2012.

). S. Rat, V. Nagy, I. Suleimanov, G. Molnar, L. Salmon et al., Chem. Commun, vol.52, 2016.

). S. Rat, M. Piedrahita-bello, L. Salmon, G. Molnar, P. Demont et al., Adv. Mater, 2018.