Développement d'un procédé de gravure submicronique : Approche basée sur les copolymères à blocs auto-assemblés

Marianne Brillat 1 Inès Massiot 2 Laurent Mazenq 1 Adrian Laborde 1 Olivier Gauthier-Lafaye 2 Hugues Granier 1
1 LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes [Toulouse]
2 LAAS-PHOTO - Équipe Photonique
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes [Toulouse]
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Contributor : Laurent Mazenq <>
Submitted on : Friday, November 2, 2018 - 3:06:45 PM
Last modification on : Friday, June 14, 2019 - 6:31:20 PM
Long-term archiving on : Sunday, February 3, 2019 - 12:56:51 PM

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Citation

Marianne Brillat, Inès Massiot, Laurent Mazenq, Adrian Laborde, Olivier Gauthier-Lafaye, et al.. Développement d'un procédé de gravure submicronique : Approche basée sur les copolymères à blocs auto-assemblés. Rapport LAAS n° 17669. 2017. ⟨hal-01911188⟩

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