Mise au point de procédés de lithographie UV sur l'équipement Suss Microtec MA-BA6 Gen4 - LAAS - Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes Accéder directement au contenu
Rapport Technique Année : 2018

Mise au point de procédés de lithographie UV sur l'équipement Suss Microtec MA-BA6 Gen4

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique
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Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Laurent Mazenq  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://laas.hal.science/hal-01911255

Soumis le : vendredi 2 novembre 2018-15:39:37

Dernière modification le : lundi 20 novembre 2023-11:44:22

Archivage à long terme le : dimanche 3 février 2019-13:01:19

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Dates et versions

hal-01911255 , version 1 (02-11-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01911255 , version 1

Citer

Julien Joneau, Laurent Mazenq, Séverine Vivies, Adrian Laborde, Hugues Granier. Mise au point de procédés de lithographie UV sur l'équipement Suss Microtec MA-BA6 Gen4. Rapport LAAS n° 18348. 2018. ⟨hal-01911255⟩

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