Design optimisation of the deep trench termination for superjunction power devices

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International Journal of Microelectronics and Computer Science, Department of Microelectronics and Computer Science (DMCS) of Technical University of Łódź, 2015, 6 (4), pp.117-123. 〈https://ijmcs.dmcs.pl/documents/10630/145671/IJMCS_4_2015-1.pdf〉
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Contributeur : Frédéric Morancho <>
Soumis le : mardi 8 janvier 2019 - 12:27:18
Dernière modification le : jeudi 10 janvier 2019 - 01:25:02

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IJMCS_4_2015-1.pdf
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Sylvain Noblecourt, Frédéric Morancho, Karine Isoird, Patrick Austin, Josiane Tasselli. Design optimisation of the deep trench termination for superjunction power devices. International Journal of Microelectronics and Computer Science, Department of Microelectronics and Computer Science (DMCS) of Technical University of Łódź, 2015, 6 (4), pp.117-123. 〈https://ijmcs.dmcs.pl/documents/10630/145671/IJMCS_4_2015-1.pdf〉. 〈hal-01955656〉

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