Micro-masonry for the simple fabrication of nanoplate resonators with integrated electrostatic transduction transduction - LAAS - Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2016

Micro-masonry for the simple fabrication of nanoplate resonators with integrated electrostatic transduction transduction

Adhitya Bhaswara
  • Fonction : Auteur
Équipe NanoBioSystèmes
Équipe Microsystèmes électromécaniques
Hohyun Keum
  • Fonction : Auteur
Illinois State University
Fabrice Mathieu
Service Instrumentation Conception Caractérisation
CV
Bernard Legrand
Équipe Microsystèmes électromécaniques
CV
Seok Kim
  • Fonction : Auteur
Liviu Nicu
Équipe Microsystèmes électromécaniques
Thierry Leichle
Équipe Microsystèmes électromécaniques

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Bernard Legrand  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://laas.hal.science/hal-01962410

Soumis le : jeudi 20 décembre 2018-15:44:34

Dernière modification le : mercredi 13 décembre 2023-18:06:56

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01962410 , version 1 (20-12-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01962410 , version 1

Citer

Adhitya Bhaswara, Hohyun Keum, Fabrice Mathieu, Bernard Legrand, Seok Kim, et al.. Micro-masonry for the simple fabrication of nanoplate resonators with integrated electrostatic transduction transduction. 42nd International Conference on Micro and Nano Engineering, MNE 2016, Sep 2016, Vienne, Austria. ⟨hal-01962410⟩

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