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Conference papers

Micro-masonry for the simple fabrication of nanoplate resonators with integrated electrostatic transduction transduction

Adhitya Bhaswara 1, 2 Hohyun Keum 3 Fabrice Mathieu 4 Bernard Legrand 2 Seok Kim Liviu Nicu 2 Thierry Leichle 2
1 LAAS-NBS - Équipe NanoBioSystèmes
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
2 LAAS-MEMS - Équipe Microsystèmes électromécaniques
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
4 LAAS-I2C - Service Instrumentation Conception Caractérisation
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
Complete list of metadatas

https://hal.laas.fr/hal-01962410
Contributor : Bernard Legrand <>
Submitted on : Thursday, December 20, 2018 - 3:44:34 PM
Last modification on : Friday, January 10, 2020 - 9:10:19 PM

Identifiers

  • HAL Id : hal-01962410, version 1

Citation

Adhitya Bhaswara, Hohyun Keum, Fabrice Mathieu, Bernard Legrand, Seok Kim, et al.. Micro-masonry for the simple fabrication of nanoplate resonators with integrated electrostatic transduction transduction. 42nd International Conference on Micro and Nano Engineering, MNE 2016, Sep 2016, Vienne, Austria. ⟨hal-01962410⟩

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