, Le stepper est un équipement de lithographie UV par projection permettant de structurer des résines avec une résolution sub-micrométrique
, équipement Canon datant de 1998 et dont les pièces pour la maintenance ne sont plus toujours supportées par le fabricant. Cet équipement "industriel" permet la fabrication à l'échelle collective de composants.Le système pourra mettre en forme des résines d'1µm d'épaisseur avec des résolutions de l'ordre de 300nm, des résines épaisses jusqu'à 50µm et traitera des substrats 150mm, 100mm ou des échantillons. Etuve TETHYS Samuel Charlot Assemblage / Device mounting, p.99
, Scriber Karl-SUSS RH, p.100
, Samuel Charlot Assemblage / Device mounting, p.99
, Charlot Assemblage / Device mounting, p.99