Source structurée spectralement pour le suivi de procédés de microfabrication
Abstract
Nous présentons une source structurable spectralement pour le contrôle du procédé d'oxydation latérale sélective, étape critique de la fabrication de VCSELs. Le choix automatisé des bandes spectrales, ainsi que la réponse rapide du système permettent d'envisager un suivi temps réel du procédé plus précis par rapport à un système d'imagerie sous illumination monochromatique déjà implémenté.
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SourceStructureeSpectralement_LAAS-CNRS_Soumission.pdf (224.35 Ko)
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