Influence of nanofabrication errors on optical metasurfaces performances: study and minimization strategies - LAAS - Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes

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Communication Dans Un Congrès Année : 2021

Influence of nanofabrication errors on optical metasurfaces performances: study and minimization strategies

(1, 2) , (2) , (2) , (2) , (1) , (3) , (3) , (1) , (2)

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2
3

Adelin Patoux

Fonction : Auteur

Équipe Matériaux et Procédés pour la Nanoélectronique

Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales

Gonzague Agez

Fonction : Auteur
PersonId : 18239
IdHAL : gonzague-agez
ORCID : 0000-0002-2164-1283
IdRef : 091447402

Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales

Christian Girard

Fonction : Auteur
PersonId : 18241
IdHAL : christian-girard
IdRef : 069226091

Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales

Vincent Paillard

Fonction : Auteur
PersonId : 18236
IdHAL : vincentpaillard
ORCID : 0000-0002-9085-0396
IdRef : 160845742

Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales

Peter Wiecha

Fonction : Auteur
PersonId : 20601
IdHAL : peter-wiecha
ORCID : 0000-0002-4571-0116
IdRef : 203873327

Équipe Matériaux et Procédés pour la Nanoélectronique

Aurélie Lecestre

Fonction : Auteur
PersonId : 753470
IdHAL : aurelie-lecestre
ORCID : 0000-0003-2251-1226

Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique

Franck Carcenac

Fonction : Auteur
PersonId : 14023
IdHAL : franck-carcenac
ORCID : 0000-0002-9660-9931

Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique

Guilhem Larrieu

Fonction : Auteur
PersonId : 14226
IdHAL : glarrieu
ORCID : 0000-0001-5157-2277
IdRef : 079105432

Équipe Matériaux et Procédés pour la Nanoélectronique

Arnaud Arbouet

Fonction : Auteur
PersonId : 18238
IdHAL : arnaud-arbouet
ORCID : 0000-0002-6825-7668
IdRef : 082966583

Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales

Résumé

Through simulation design, fabrication and characterization of optical sili- con metasurfaces, we discuss the influence of different nanofabrication errors and propose strategies to optimize the robustness of the fabrication of complex metasurfaces.

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

Guilhem Larrieu : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://laas.hal.science/hal-03371657

Soumis le : vendredi 8 octobre 2021-18:12:46

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:11

Dates et versions

hal-03371657 , version 1 (08-10-2021)

Identifiants

HAL Id : hal-03371657 , version 1

Citer

Adelin Patoux, Gonzague Agez, Christian Girard, Vincent Paillard, Peter Wiecha, et al.. Influence of nanofabrication errors on optical metasurfaces performances: study and minimization strategies. Flat Optics: Components to Systems 2021, Jun 2021, Washington, DC, United States. ⟨hal-03371657⟩

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