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HAL-LAAS Open Archive Laboratory for Analysis and Architecture of Systems |  |
Conference papers
Fabrication and characterization of Si3N4-MIS structures on p-type diamond
Lya Fontaine
1
Karine Isoird
1
Josiane Tasselli
1
Emmanuel Scheid
2
Patrick Austin
1
Alain Cazarre
3
Riadh Issaoui
4
1
LAAS-ISGE - Équipe Intégration de Systèmes de Gestion de l'Énergie
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
2
LAAS-MPN - Équipe Matériaux et Procédés pour la Nanoélectronique
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
3
LAAS-S4M - Équipe Instrumentation embarquée et systèmes de surveillance intelligents
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
Lya Fontaine 1
Author IdHAL : lya-fontaine
Karine Isoird 1
Author Employer institution : Équipe Intégration de Systèmes de Gestion de l'Énergie IdHAL : karine-isoird ORCID : https://orcid.org/0000-0002-2878-6952
Josiane Tasselli 1
Author Employer institution : Équipe Intégration de Systèmes de Gestion de l'Énergie IdHAL : josiane-tasselli
Emmanuel Scheid 2
Author
1
LAAS-ISGE - Équipe Intégration de Systèmes de Gestion de l'Énergie (France)
- LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France)
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France)
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
2
LAAS-MPN - Équipe Matériaux et Procédés pour la Nanoélectronique (France)
- LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France)
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France)
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
3
LAAS-S4M - Équipe Instrumentation embarquée et systèmes de surveillance intelligents (France)
- LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France)
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France)
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
4
LSPM - Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux (Institut Galilée, Université Paris 13, 99 avenue Jean-baptiste Clément, F-93430 Villetaneuse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR3407 (France)
- USPC - Université Sorbonne Paris Cité (Université Sorbonne Paris Cité | 100-104, avenue de France | 75013 Paris - France)
- Institut Galilée (France)
- UP13 - Université Paris 13 (France)
Document type :
Conference papers
Complete list of metadata
https://hal.laas.fr/hal-03445543
Contributor : Josiane Tasselli Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Wednesday, November 24, 2021 - 9:05:12 AM
Last modification on : Wednesday, April 6, 2022 - 11:05:25 AM
Long-term archiving on: : Friday, February 25, 2022 - 6:14:35 PM
Contributor : Josiane Tasselli Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Wednesday, November 24, 2021 - 9:05:12 AM
Last modification on : Wednesday, April 6, 2022 - 11:05:25 AM
Long-term archiving on: : Friday, February 25, 2022 - 6:14:35 PM
Files
2021-07-27-Oral_ICDCM-DIAM21-C...
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Identifiers
- HAL Id : hal-03445543, version 1
Collections
Citation
Lya Fontaine, Karine Isoird, Josiane Tasselli, Emmanuel Scheid, Patrick Austin, et al.. Fabrication and characterization of Si3N4-MIS structures on p-type diamond. 31st International Conference on Diamond and Carbon Materials, Sep 2021, On line, Spain. ⟨hal-03445543⟩
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