Nouvelles architectures de composants photoniques par l'ingénierie du confinement électrique et optique

Gaël Lafleur 1
1 LAAS-PHOTO - Équipe Photonique
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes [Toulouse]
Résumé : Le confinement électrique et optique par oxydation des couches minces d'AlGaAs est une étape essentielle dans la réalisation des composants photoniques actifs et passifs dans la filière de matériaux GaAs. La recherche de performances ultimes sur ces composants nécessite une meilleure maîtrise du procédé d'oxydation ainsi qu'une meilleure connaissance des propriétés optiques de l'oxyde d'aluminium (AlOx). Dans cette perspective, j'ai d'abord réalisé une étude expérimentale de la vitesse d'oxydation des couches d'AlGaAs en fonction de la température du substrat, de la composition en gallium des couches étudiées, de la pression atmosphérique et de la géométrie des mesas considérés. Puis, j'ai établi un modèle anisotrope permettant une meilleure résolution spatiale et temporelle de la forme du front d'oxydation de l'AlAs. Enfin, j'ai exploité ce procédé pour réaliser des composants d'optique guidée notamment des micro-résonateurs puis réalisé des guides optiques à fente et caractérisé leurs performances optiques.
Type de document :
Thèse
Optique / photonique. Université Paul Sabatier - Toulouse III, 2016. Français. 〈NNT : 2016TOU30263〉
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Contributeur : Abes Star <>
Soumis le : jeudi 5 octobre 2017 - 11:48:06
Dernière modification le : mercredi 28 février 2018 - 10:58:32

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Gaël Lafleur. Nouvelles architectures de composants photoniques par l'ingénierie du confinement électrique et optique. Optique / photonique. Université Paul Sabatier - Toulouse III, 2016. Français. 〈NNT : 2016TOU30263〉. 〈tel-01449561v2〉

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