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Conference Papers Year : 2018

Selective oxidation of AlGaAs for confinement in III-V photonic devices

Guilhem Almuneau
Équipe Photonique
Stéphane Calvez
Équipe Photonique
Gael Lafleur
  • Function : Author
Équipe Photonique
Chantal Fontaine
Équipe Photonique
Alexandre Arnoult
Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
Antoine Monmayrant
Équipe Photonique
Henri Camon
Équipe Photonique
Olivier Gauthier-Lafaye
Équipe Photonique

Domains

Engineering Sciences [physics] Optics / Photonic
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https://hal.laas.fr/hal-01855298

Submitted on : Tuesday, August 7, 2018-4:12:39 PM

Last modification on : Monday, March 27, 2023-9:34:30 AM

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Dates and versions

hal-01855298 , version 1 (07-08-2018)

Identifiers

  • HAL Id : hal-01855298 , version 1

Cite

Guilhem Almuneau, Stéphane Calvez, Gael Lafleur, Chantal Fontaine, Alexandre Arnoult, et al.. Selective oxidation of AlGaAs for confinement in III-V photonic devices. 16th NAMIS workshop ” Micro- and nanosystems, large area electronics and biofunctionalities towards novel integrated smart systems“, Jun 2018, Oulu, Finland. 36p. ⟨hal-01855298⟩

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